X射線熒光分析儀目前是目前應用非常廣的一款儀器，作為一款科學使用儀器，維護好設備是延長設備使用壽命的重要途徑，做好熒光分析儀的保養維護。
熒光光譜儀的使用要點
X熒光光管是X熒光光譜儀的核心部件，在高功率工作時如果頻繁斷電停機，對光管的損害非常打，設置會燒壞光管，所以在日常的使用過程中，要避免高功率狀態下停機，一般X熒光光譜儀是長時間開機使用，所以為了延長光管的使用壽命，在熒光不工作時，保持200W的低功率待機，這樣在低功率狀態下即使突然斷電，也是安全的。
光管的老化
新的和長期不用的X射線光管在使用時，必須進行老化，有的波長色散X熒光光譜儀自帶老化程序，可進行老化。光管作為熒光分析儀中核心部件，價格較高，科學安全使用光管是延長光管壽命的重要措施，工作中注意使用方法對延長光管壽命有著重要的意義。
熒光分析儀真空型
X熒光光譜儀的日常檢查點
注意觀察熒光分析儀的狀態參數，通過狀態參數判定光譜儀是否正常，日常觀察的參數主要是真空度的確認，氣體流量，壓力的檢查，內存換水電導率，內外循環水流量及溫度的檢查。另外對于熒光分析儀，要時刻保持清潔狀態。
熒光分析儀
真空系統的清潔維護
真空系統是X熒光光譜儀的重要組成部分，儀器工作時，光譜室被抽成真空狀態，以減少空氣對X射線的干擾，提高儀器的分辨率。因此應該定期（每月至少一次）對進樣口進行清洗，主要清洗O型圈，保證抽真空時的密封性良好，從而保證抽真空的效果。
維護好熒光分析儀日常的狀態，可保證熒光分析儀的使用壽命。